Elektron demeti litografi
![](http://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/e/e3/EB_litograph.jpg/220px-EB_litograph.jpg)
Elektron demeti litografi, odaklanmış bir elektron demeti ile, elektrona duyarlı malzemelerle kaplı yüzeylere şekiller çizilmesi işlemidir.[1] Elektron demeti bu malzemenin çözünürlüğünü değiştirerek, istenilen kısımlarda bu malzemenin kalkmasını sağlayarak çizimler yapılmasını mümkün kılar.
Kaynakça
- ^ McCord, M. A.; Rooks, M. J. (2000). SPIE Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication (İngilizce). 19 Ağustos 2019 tarihinde kaynağından arşivlendi. Erişim tarihi: 23 Kasım 2019.